美國API代理激光干涉儀信息

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XD Laser激光干涉儀

XD Laser激光干 涉儀，一次安裝即可以測得6個(gè)參數,包括1個(gè)位置度誤差、2個(gè)直線(xiàn)度誤差和3個(gè)角度誤差。

通常時(shí)間需數天進(jìn)行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成。實(shí)際應用結果表明:工作效率提升5倍。

該儀器體積小、重量輕，可以直接安裝到機床導軌上。XD Laser 6D激光干涉儀主要由穩頻激光器、干涉鏡和6D傳感器組成，

從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過(guò)干涉后，被6D傳感器內的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反射后返回干涉儀與參考光束相干涉產(chǎn)生干涉條紋，

經(jīng)光學(xué)相位探測器識別后進(jìn)行電子計數，記錄長(cháng)度位置。第二束光作直線(xiàn)度測量的參考光束，

傳感器與參考光束之間的相對位移由裝載傳感器內的橫向光電二極管測得。第三束光用作裝在6D .

傳感器內的小型光電測角儀的參考光源，用來(lái)測量角度誤差(俯仰角和偏擺角)