美國API一維激光干涉儀

美國API一維激光干涉儀

美國API一維激光干涉儀

API XD Laser激光干涉儀的測試方法：

API激光干涉儀直線(xiàn)度測量

 — 應用*的PSD技術(shù)：光電位置敏感檢測器。它可將光敏面上的光點(diǎn)位置轉化為電信號)

 — 不怕斷光，可用于導軌的安裝調試(類(lèi)似于自準直儀)

 — 對直線(xiàn)度進(jìn)行1:1的測量

 — 可一次性安裝, 與線(xiàn)性誤差一起測量, 方便, 快速

API激光干涉儀垂直度測量

—  API XD激光干涉儀是通過(guò)PSD技術(shù)1:1進(jìn)行直線(xiàn)度測量的，所以API干涉儀測兩軸垂直度時(shí)只需一個(gè)五角棱鏡既可，

— 無(wú)需其他鏡組裝/調非常方便快速

— 在測兩軸的垂直度的同時(shí)，兩軸各自的線(xiàn)性定位誤差、直線(xiàn)度，偏擺角、俯仰角都可一次測出，

— 大大節省了測量所占用機床的時(shí)間，也可避免人為差錯。

API激光干涉儀偏擺角/俯仰角測量

— *的PSD技術(shù)來(lái)測量小角度: 當入射光經(jīng)分光鏡射到凸透鏡上后，如果軸無(wú)角度變化，則光線(xiàn)經(jīng)透鏡聚在焦點(diǎn)上；

— 如果軸有角度變化，則光線(xiàn)會(huì )在焦平面上的PSD光靶上得到兩個(gè)方向的坐標值，從而與焦距比較得出角度值。

— 測量角度過(guò)程中不怕斷光, 可用于導軌的安裝調試。不受滾動(dòng)角的影響，調整光路容易 。