美國自動(dòng)精密儀器激光干涉儀

美國自動(dòng)精密儀器激光干涉儀

美國API Radin激光跟蹤儀是由一個(gè)*的、結構緊湊的跟蹤頭、一個(gè)控制箱、筆記本電腦和連接整個(gè)系統的電纜組成的。其它配件還包括一個(gè)三角架、靶球、工具箱和測量軟件包。

伴隨著(zhù)制造產(chǎn)業(yè)如：液晶面板、太陽(yáng)能光伏、鋰電新能源、激光、貼裝、半導體、醫療制造、精密?chē)娎L、精密檢測、點(diǎn)膠等行業(yè)的興起或進(jìn)階，帶來(lái)了龐大的精密自動(dòng)化設備需求；為匹配制造業(yè)相應技術(shù)要求，自動(dòng)化設備的制造及標定技術(shù)標準也在不斷提升；這其中，無(wú)論是在生產(chǎn)制造過(guò)程中的測量檢測、還是在設備服役期間的校準標定，都是重中之重的環(huán)節，為自動(dòng)化設備的穩定運行提供最堅實(shí)的保障。 

美國自動(dòng)精密儀器激光干涉儀

美國API激光干涉儀XD Laser的技術(shù)參數： 

1．1D激光主要可以測量定位誤差 

2．3D激光可以測量定位誤差、直線(xiàn)度誤差（雙向） 

3．5D/6D激光可以測量定位誤差、直線(xiàn)度誤差（雙向）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角

4．5D/6D標準型技術(shù)參數：

    1) 線(xiàn)性：0.5ppm .

    2) 測量范圍：40米（1D可選80米）

    3) 線(xiàn)性分辨力：0.001um.

    4) 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值

    5) 范圍：800角秒

    6) 滾動(dòng)角精度：1.0角秒

    7) 直線(xiàn)度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值

    8) 直線(xiàn)度范圍：500um

    9) 垂直度精度：1角秒

   10) 溫度精度：0.2攝氏度

   11) 濕度精度：5%

   12) 壓力精度：1mmHg