美國API激光干涉儀XD LASER

美國API激光干涉儀XD LASER

API XD Laser™激光干涉儀體積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上，API XD Laser™激光干涉儀主要由穩頻激光器，干涉鏡和6D傳感器組成，從激光發(fā)出的激光光束經(jīng)過(guò)干涉后，被6D傳感器內的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)維角反射棱鏡反射后返回干涉干涉儀與參考光束相干涉產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測器識別后進(jìn)行電子計數，記錄精確長(cháng)度位置，第二束光作直線(xiàn)度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝載傳感器內的橫向光電二極管測得，第三束光用作裝在6D傳感器內的小型光電測角儀的參考光源，用來(lái)測量角度誤差(俯仰角和偏擺角)。

API激光干涉儀為了保證激光光束的穩定性，測量?jì)x在結構的設計以及激光器的選擇方面都做了仔細周密的考慮，以使測量?jì)x的橫向和角度漂移量都降到最小，從而保證測量?jì)x的長(cháng)期穩定性，測量?jì)x配有自動(dòng)氣壓，環(huán)境溫度補償器，自動(dòng)校正環(huán)境變化對激光波長(cháng)及長(cháng)度測量的影響。測量?jì)x還配有站們設計的多重數字濾波器，使由空氣波動(dòng)及溫度梯度引起的測量誤差降到較低。

美國API激光干涉儀XD LASER

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