美國XD API激光干涉儀

美國XD API激光干涉儀

美國XD API激光干涉儀

美國API激光干涉儀5D/6D激光干涉儀是API的產(chǎn)品，一次安裝能夠同時(shí)測量線(xiàn)性軸的六個(gè)誤差，包括1個(gè)位置度誤差、2個(gè)直線(xiàn)度誤差、3個(gè)角度誤差。在通常情況下需要數天時(shí)間進(jìn)行的測試，使用美國API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成，實(shí)際應用結果表明，節省時(shí)間可達80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上。6D激光干涉儀主要由穩頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成，從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過(guò)干涉后，被6D傳感器內的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測器識別后進(jìn)行電子記數，記錄長(cháng)度位移。第二束光用作直線(xiàn)度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝在傳感器內的橫向疚光電二級管測得。第三束光用作裝在6D傳感器內的小型光電測角儀的參考光源，用來(lái)測量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。美國API激光干涉儀為了保證激光光束的穩定性，測量?jì)x在結構的設計以及激光器的選擇方面都做了仔細周密的考慮，以使測量?jì)x的橫向和角度漂移量都降低到小，從而保證測量?jì)x的長(cháng)期穩定性。測量?jì)x配有自動(dòng)氣壓、環(huán)境溫度補償器，自動(dòng)校正環(huán)境變化對激光波長(cháng)及長(cháng)度測量的影響，測量?jì)x還配有專(zhuān)門(mén)設計的多重數字濾波器，使由空氣波動(dòng)及溫度梯度引起的測量誤差降到小。