更新時(shí)間:2024-01-12
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廠(chǎng)商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
生產(chǎn)地址:
品牌 | TeledyneAPI/美國 | 價(jià)格區間 | 面議 |
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產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應用領(lǐng)域 | 環(huán)保,制藥,綜合 |
機床定位激光干涉儀
美國API激光干涉儀
基本上,激光干涉儀都使用氦氖激光器的632.8 nm波長(cháng)的光,橙紅燦爛的光束射向遠方,發(fā)散角可以小到0.1 mrad,光束截面的光斑均勻。氦氖激光器還可輸出綠光、黃光、紅外光,但只有632.8 nm波長(cháng)的光適合作激光干涉儀的光源。其它類(lèi)型的激光器,如半導體(LD)、固體激光器等的相干等性能都遠不及氦氖激光器,研究人員多有嘗試,但都沒(méi)有成功。
激光干涉儀有很多應用,但本質(zhì)都是測量中學(xué)課本講的“位移",諸多應用都是“位移"的延伸和轉化。激光干涉儀有兩個(gè)主流類(lèi)型:?jiǎn)晤l激光干涉儀和雙頻激光干涉儀。
美國API激光干涉儀單頻干涉儀能做的雙頻激光干涉儀都能做,但雙頻干涉儀能做的單頻干涉儀不見(jiàn)得能做。由于歷史、技術(shù)和商業(yè)原因,兩種干涉儀都有著(zhù)廣泛應用。但在光刻機上,雙頻激光干涉儀市場(chǎng)。
美國API激光干涉儀單頻干涉儀不需要對市場(chǎng)上的氦氖激光器進(jìn)行改造,直接可用。但雙頻激光干涉儀用的激光器需要附加技術(shù)使其產(chǎn)生雙頻(兩個(gè)頻率)。
歷,雙頻激光干涉儀測量位移的速度不及單頻激光干涉儀,自從發(fā)明了雙折射-塞曼雙頻激光器,雙頻激光干涉儀的測量速度也達到每秒幾米,與單頻激光器看齊了。
按產(chǎn)生雙頻的方法,雙頻激光干涉儀分為塞曼雙頻激光(國外)干涉儀和雙折射-塞曼雙頻激光(國內)干涉儀。
現在干涉儀的指標:最小可感知1 nm(十億分之1 m),可以測量百米長(cháng)的零件,且測量70 m長(cháng)的導軌誤差僅為幾微米。